플라즈마 보조 박막 코팅을 위한 고진공 플라즈마 강화 화학 증기 증착 시스템 (PECCD) VTC-PECVD

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Henan Mingguan Scientific Instruments Co., Ltd.2 yrs

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주요 속성

핵심 산업 사양

보장

1 년

기타 속성

원래 장소

Henan, China

분류

실험실 난방 설비

맞춤형 지원

OEM

유명 상표

MGSI

모델 번호

VTC-PECVD

중량

200kg

전압

단상 208 - 240 VAC 50 / 60Hz

제품 이름

플라즈마 강화 화학 증기 증착 시스템

RF 소스 전력

300 W, 13.56 MHz

진공 챔버 소재

304 스테인레스 스틸로 만든

차원

Dia 300mm * 300 m H

궁극적인 진공

6E-7 torr

터보 펌프

700 L/s 파이퍼 터보 펌프

백 펌프

240 L/min (4L/s) 로터리 베인 펌프

샘플 홀더 크기

100mm Dia. for. 4 "웨이퍼 최대

유량

16 L/min

준수

CE 승인

리드 타임

수량 (세트)	1 - 1	> 1
예상 시간(일)	60	협의 예정

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