고진공 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (CCP 타입) 시스템-VTC-PECVD

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Henan Mingguan Scientific Instruments Co., Ltd.2 yrs

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주요 속성

핵심 산업 사양

보장

one year

기타 속성

원래 장소

Henan, China

분류

실험실 난방 설비

맞춤형 지원

OEM

유명 상표

MGSI

모델 번호

VTC-PECVD

중량

200kg

전압

Single-phase 208 - 240 VAC 50 / 60 Hz

Product name

Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition system

RF Source Power

300 W, 13.56 MHz

Vacuum Chamber material

Made of 304 stainless steel

Dimension

Dia 300 mm * 300 m H

Ultimate vacuum

6E-7 torr

Turbo Pump

700 L/s Pfeiffer turbo pump

Backing Pump

240 L/min (4L/s) rotary vane pump

Sample holder size

100 mm Dia. for. 4" wafer max

Flow rate

16 L/min

Compliance

CE approval

리드 타임

수량 (세트)	1 - 1	> 1
예상 시간(일)	60	협의 예정

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