정확도
0.3% F.S. (F.S. ≤ 30%) / 1.0% S.P. (>0.3% F.S.)
가스 요구 사항
깨끗하고 건조하며 부식성이없는 가스
가스
공기, N2,Ar,CO2,He, H2,CH4, O2 등
흐름 범위
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) SLM
유출 무결성, 선외
1x10-9 Pa m3/s 그는
작동 습도
10% ~ 90% RH (동결 및 응축 없음)
전력 공급
DC24V, 리플 웨이브 ≤ 50mV