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현미경 스캐닝 광학 시스템을위한 S51 피에조 세타 x 세타 y z 처짐 단계 고속 응답 고정밀 틸트 플랫폼

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기타 속성

원래 장소
Heilongjiang, China
유명 상표
CoreMorrow
모델 번호
S51.ZT1S/S51.ZT1K
유형
압전 세라믹스
물자
Aluminum, Steel
Product name
Piezo stage
Active axes
theta x theta y and Z
Linear travel axes(0~+120V)
80μm±10%
Tilt angle(0~+120V)
±0.9/ axis mrad±10%
Resolution in Z
S-7/K-4 nm
Resolution (theta x, theta y)
S-0.25/K-0.05 μrad
Load capacity
1(Optional 2.5 versions) kg
Integrated sensor
S-SGS/K -
Mass
820g±5%
Push/pull force
120 N

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20X14X8 cm
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